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Nd-YAG４次高調波 波長変換レーザ
ＵＶ（波長266nm）レーザの開発背景
技術動向の流れとして、小型化の必然性による各部品の微細化、品質向上は当然必要となっています。
その為、様々な材料への微細加工やマーキングも微小箇所にせざるを得ない状況です。
これらの課題を解決するレーザ手法として、短波長レーザの採用があり、運用を考慮するとYAGの高調波によるDeepUVが最適と考えました。
YAGレーザの波長変換による4次高調波（波長：266nm）の発生は以前から実現されている技術でしたが、信頼性や安定性、波長変換結晶寿命など様々な問題がありFA用途では到底使用出来るレベルではありませんでした。
しかし、弊社では独自に開発した波長変換技術によりこれらの問題を解決し、安定的かつ長寿命で使用できるレーザ発振器を開発しました。
安定性を確立するため、基本波の発生時から完全なシングルモードとしています。波長変換系のメカ機構に付いては詳しくは記述出来ませんが、各部品・ユニット、または、それを固定しているボルトまでも独自設計とし、安定性を向上させています。
高寿命化に伴う波長変換結晶の劣化問題に付いても、独自の方式を採用し使用条件にもよりますが、1万時間以上の使用を可能としています。
これらにより、立ち上げ時間10分程度でフルパワーでの使用が可能で、通常のYAGレーザと同じように使用することが出来ます。
ＵＶレーザの加工技術
弊社では難加工材を含む様々な材料の微細加工に対して4次高調波レーザでの加工を行っていますが、UVレーザを使用するに当たり加工法の検討も重要な項目の1つとなります。
同じ様な材料であっても、加工性の違いによりレーザ自身のパラメータ設定はもちろんですが、例えば穴開け加工にしても加工パターンによってバリの発生抑制などの仕上がりや、深さなどの加工限界、タクトが著しく異なります。
この様なことを踏まえ、これまでの経験を生かし加工性の傾向を判断しながら、最適な条件で加工を行っています。
また、レーザ加工に適した材質や加工プロセスをユーザー殿に御提案し、共同開発的に行っていくケースもあります。
装置を導入して頂く際には、この加工技術も装置と一緒に納入し、確実に運用していただけるようにしております。
また、納入後に新たな加工の用途が出た際には、弊社にて加工技術の検討を行う事もしております。
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