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CHARIS 深紫外UVレーザマーキングユニット LMU-4000

CHARIS 深紫外UVレーザマーキングユニット LMU-4000

難加工材料を紫外(UV)レーザで綺麗にマーキング
CHARIS 深紫外レーザウェーハマーカ

CHARIS 深紫外レーザウェーハマーカ

SiC・GaNなどの硬脆材ウェハに極めて浅く、発塵の少ないマーキングを実現！その他化合物半導体ウェハもマーキング可能です。
CHARIS UVレーザ加工機

CHARIS UVレーザ加工機

UVレーザ（波長266nm）で難加工材料を微細に加工
タカノレーザーリフトオフシステム

GAIA レーザリフトオフ

ガラス基板上の樹脂フイルムのリフトオフ
CHARIS レーザリフトオフ

CHARIS レーザリフトオフ

GaN on サファイアのリフトオフ

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